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1 范圍GB/T 11446 的本部分規(guī)定了電子級(jí)水的級(jí)別、技術(shù)指標(biāo)要求、試驗(yàn)方法和檢測(cè)規(guī)則。本部分適用于電子和半導(dǎo)體工業(yè)用高純清洗用水。2 規(guī)范性引用文件下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其＊新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T 11446.3-2013 電子級(jí)水測(cè)試方法通則GB/T 11446.4-2013 電子級(jí)水電阻率的測(cè)試方法GB/T 11446.5-2013 電子級(jí)水中痕量金屬的原子吸收分光光度測(cè)試方法GB/T 11446.6-2013 電子級(jí)水中二氧化硅的分光光度測(cè)試方法GB/T 11446.7-2013 電子級(jí)水中痕量陰離子的離子色譜測(cè)試方法GB/T 11446.8-2013 電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測(cè)試方法GB/T 11446.9-2013 電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法GB/T 11446.10-2013 電子級(jí)水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測(cè)試方法3 術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。3.1 電子級(jí)水 electronic grade water電子和半導(dǎo)體工藝過(guò)程中所用的高純水。3.2 電阻率 resistivity在規(guī)定溫度下，1cm3(正立方體)水溶液兩相對(duì)面之間測(cè)得的電阻值。通常用符號(hào)ρ表示，單位為歐姆厘米（Ω·cm）,純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm(25℃)。3.3 全硅 total silicon水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量。3.4 可溶性硅 soluble silicon以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽。3.5 微粒性物質(zhì) granular matter除氣體外，以非液體分散在水中，并形成非均相混合物的物質(zhì)。3.6 總有機(jī)碳 total organic carbon；TOC水中以各種有機(jī)物形式存在的碳的總量。包括易被一般強(qiáng)氧化劑氧化的有機(jī)物和需用特殊方法氧化的有機(jī)物。3.7 吸附 absorption某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物質(zhì)的現(xiàn)象。3.8 凝聚 coagulation在源水中加入某種電解質(zhì)后，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和，從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現(xiàn)象。3.9 絮凝 flocculation水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結(jié)為絮狀沉淀的現(xiàn)象。絮凝一般是再凝聚作用后緩慢進(jìn)行，可除去水中更細(xì)的微粒。3.10 砂濾器 sand filter用于盛放不同直徑的砂粒，以除去源水中懸浮固體和渾濁物的裝置。3.11 活性碳過(guò)濾器 activated carbon filter裝有粒狀活性碳的過(guò)濾器，用于除去水中的可溶性有機(jī)物和過(guò)量的殘余氯。 3.12 離子交換 ion exchange一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過(guò)程，該過(guò)程中物質(zhì)并無(wú)實(shí)質(zhì)性結(jié)構(gòu)變化。3.13 離子交換樹(shù)脂 ion-exchange resin一種合成的有機(jī)離子交換材料。3.14 去離子水 deionized water經(jīng)過(guò)離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水3.15 再生 regeneration離子交換過(guò)程操作循環(huán)中的一部分。在該部分中，用一定量的化學(xué)試劑通過(guò)離子交換樹(shù)脂使其恢復(fù)交換能力。3.16 復(fù)合床 complex bed將陽(yáng)離子交換樹(shù)脂和陰離子交換樹(shù)脂分別裝入兩個(gè)離子交換柱中，將兩柱串聯(lián)，使水依次通過(guò)兩個(gè)柱而被純化。3.17 混合床 mixed bed將陽(yáng)離子交換樹(shù)脂和陰離子交換樹(shù)脂混合均勻，填充于同一離子交換柱中，其純化效果相當(dāng)于許多復(fù)合床串聯(lián)使用。3.18 電滲析 electrodialysis一種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽(yáng)兩極之間用交替排列的陰、陽(yáng)離子交換膜分割成一系列小室。水流通過(guò)小室時(shí)，在電流電場(chǎng)作用下，水中陽(yáng)離子向陰極方向移動(dòng)，但不能通過(guò)陽(yáng)膜；陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達(dá)到提純水的目的。3.19 逆向滲透 reverse osmosis用半透膜將濃水和淡水隔開(kāi)，并在弄水上施加比滲透壓更強(qiáng)的機(jī)械壓力，則濃水中大部分水透過(guò)半透膜而雜質(zhì)仍留在其中，達(dá)到分離提純的目的。3.20 反滲透膜 reverse osmosis membrane用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜，其孔徑一般為0.02μm或更小，可用于除去無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物、細(xì)菌等，使水純化。3.21 微孔膜濾器 membrane filter一種平均孔徑（直徑）大于0.01μm的薄膜，能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。3.22 超過(guò)濾 ultrafiltration一種過(guò)濾方法，在一定壓力下使水流過(guò)超濾膜以除去水中的極細(xì)微粒、膠體和細(xì)菌等。3.23 終端 terminal高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過(guò)各道凈化工藝后，水的出口或使用地點(diǎn)。3.24 無(wú)菌 sterile不含任何活有機(jī)體（不論是活躍的或休眠的）。3.25 PH水溶液中氫離子活度的負(fù)對(duì)數(shù)或氫氧根離子活度倒數(shù)的負(fù)對(duì)數(shù)。4 分類和標(biāo)記4.1 分類電子級(jí)水分為四個(gè)級(jí)別：Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)。4.2 標(biāo)記Ⅰ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為：EW-Ⅰ。Ⅱ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為：EW-Ⅱ。Ⅲ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為：EW-Ⅲ。Ⅳ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為：EW-Ⅳ。 5 要求電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1規(guī)定。表1 電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)項(xiàng)目技術(shù)指標(biāo)EW-ⅠEW-ⅡEW-ⅢEW-Ⅳ電阻率（25℃）/MΩ·cm≥18（5%時(shí)間不低于17）≥15（5%時(shí)間不低于13）≥12≥0.5全硅/（μg/L）≤2≤10≤50≤1000微粒數(shù)/（個(gè)/L）0.05μm~0.1μm500---0.1μm~0.2μm300---0.2μm~0.3μm50---0.3μm~0.5μm20---＞0.5μm4---細(xì)菌個(gè)數(shù)/（個(gè)/mL）≤0.01≤0.1≤10≤100銅/（μg/L）≤0.2≤1≤2≤500鋅/（μg/L）≤0.2≤1≤5≤500鎳/（μg/L）≤0.1≤1≤2≤500鈉/（μg/L）≤0.5≤2≤5≤1000鉀/（μg/L）≤0.5≤2≤5≤500鐵/（μg/L）≤0.1---鉛/（μg/L）≤0.1---氟/（μg/L）≤1---氯/（μg/L）≤1≤1≤10≤1000亞硝酸根/（μg/L）≤1---溴/（μg/L）≤1---硝酸根/（μg/L）≤1≤1≤5≤500磷酸根/（μg/L）≤1≤1≤5≤5006 試驗(yàn)方法6.1 電阻率電子級(jí)水的電阻率按GB/T 11446.4-013進(jìn)行測(cè)定。6.2 全硅含量（以二氧化硅計(jì)）電子級(jí)水全硅（以二氧化硅計(jì)）含量按GB/T 11446.6-2013進(jìn)行測(cè)定。6.3 微粒數(shù)電子級(jí)水中微粒數(shù)按GB/T 11446.9-2013進(jìn)行測(cè)定。6.4 細(xì)菌總數(shù)電子級(jí)水中細(xì)菌總數(shù)按GB/T 11446.10-2013進(jìn)行測(cè)定。6.5 痕量金屬含量電子級(jí)水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進(jìn)行測(cè)定。 6.6 氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量電子級(jí)水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進(jìn)行測(cè)定。6.7 總有機(jī)碳含量電子級(jí)水中總有機(jī)碳含量按GB/T 11446.8-2013進(jìn)行測(cè)定。7 檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢驗(yàn)部門電子級(jí)水的檢驗(yàn)均應(yīng)在有資質(zhì)的檢驗(yàn)部門進(jìn)行。7.2 檢驗(yàn)分類電子級(jí)水的檢驗(yàn)分為交收檢驗(yàn)和例行檢驗(yàn)。7.3交收檢驗(yàn)7.3.1 抽驗(yàn)項(xiàng)目電子級(jí)水中電阻率、鈉離子、全硅（以二氧化硅計(jì)）為交收檢驗(yàn)項(xiàng)目。7.3.2 合格判據(jù)在用水終端采樣，檢驗(yàn)后檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)或一項(xiàng)以上不合格時(shí)，應(yīng)再次采樣經(jīng)行檢驗(yàn)，如仍不合格，則該批不合格，應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。7.4 例行檢驗(yàn)（全檢項(xiàng)目）7.4.1 檢驗(yàn)項(xiàng)目檢驗(yàn)項(xiàng)目為表1規(guī)定的全部項(xiàng)目。檢驗(yàn)順序應(yīng)以不影響后序?qū)嶒?yàn)結(jié)果的原則進(jìn)行檢驗(yàn)。7.4.2 不合格判定在用水終端采樣后進(jìn)行例行檢驗(yàn)，檢驗(yàn)結(jié)果如有不合格項(xiàng)時(shí)，應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn)，如仍有不合格項(xiàng)時(shí)，應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。7.4.3 檢驗(yàn)頻次例行檢驗(yàn)至少每年進(jìn)行一次，當(dāng)制水條件發(fā)生變更時(shí)也應(yīng)進(jìn)行例行檢驗(yàn)。8 采樣、貯存、運(yùn)輸及標(biāo)志8.1采樣、貯存、運(yùn)輸電子級(jí)水的采樣、貯存、運(yùn)輸應(yīng)符合GB/T 11446.3-2013的規(guī)定。8.2 標(biāo)志在用水終端采樣進(jìn)行檢驗(yàn)時(shí)，水質(zhì)合格后應(yīng)附有檢驗(yàn)合格證，合格證應(yīng)包含如下內(nèi)容：名稱及級(jí)別；各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)；制水單位；供水日期；檢驗(yàn)員簽章及檢驗(yàn)日期。

＊低要求 根據(jù)《化妝品生產(chǎn)企業(yè)衛(wèi)生規(guī)范》的要求，化妝品生產(chǎn)用水的水質(zhì)至少應(yīng)達(dá)到生活飲用水衛(wèi)生的標(biāo)準(zhǔn)（GB5749-2006）。這也是工藝用水的＊低要求。 一般標(biāo)準(zhǔn) 多數(shù)化妝品企業(yè)都以純化水的標(biāo)準(zhǔn)來(lái)設(shè)計(jì)工藝用水系統(tǒng)。純化水通常是以生活飲用水為水源加以提純，在離子等化學(xué)指標(biāo)上要優(yōu)于飲用水，微生物限度標(biāo)準(zhǔn)與飲用水的指標(biāo)一樣，都是<100CFU/ml，更適合于化妝品的生產(chǎn)工藝和配方。 行業(yè)趨勢(shì) CFDA于2015年12月15日發(fā)布了《國(guó)家食品藥品監(jiān)督管理總局關(guān)于化妝品生產(chǎn)許可有關(guān)事項(xiàng)的公告》（2015年 第265號(hào)），自2016年起化妝品行業(yè)執(zhí)行新的《化妝品生產(chǎn)許可證》制度。從發(fā)布的文件要求來(lái)看，化妝品行業(yè)生產(chǎn)許證獲得條件大有向GMP方向靠攏的趨勢(shì)。

純化水ChunhuashuiPurified Water[修訂]【檢查】 微生物限度 取本品不少于1ml，按薄膜過(guò)濾法處理后，采用R2A 瓊脂培養(yǎng)基，30～35℃培養(yǎng)不少于5 天，依法檢查（通則1105），每1ml 供試品中需氧菌總數(shù)不得過(guò)100cfu。R2A 瓊脂培養(yǎng)基處方及制備酵母浸出粉0.5g蛋白胨0.5g酪蛋白水解物0.5g可溶性淀粉0.5g葡萄糖0.5g磷酸二氫鉀0.3g無(wú)水硫酸鎂0.024g丙酮酸鈉0.3g瓊脂15g純化水1000ml除葡萄糖、瓊脂外，取上述成分，混合，微溫溶解，調(diào)節(jié)pH 值使加熱后在25℃的pH值為7.2±0.2，加入瓊脂，加熱溶化后，再加入葡萄糖，搖勻，分裝，滅菌。R2A 瓊脂培養(yǎng)基適用性檢查試驗(yàn) 照通則1105 中“計(jì)數(shù)培養(yǎng)基適用性檢查”的胰酪大豆胨瓊脂培養(yǎng)基的適用性檢查方法進(jìn)行，試驗(yàn)菌株為銅綠假單胞菌和枯草芽孢桿菌。應(yīng)符合規(guī)定。

藥典與YY/T 1244對(duì)純化水 比較項(xiàng)目YY/T 1244-2014中國(guó)藥典（2015版）術(shù)語(yǔ)/來(lái)源本品為飲用水經(jīng)蒸餾法、離子交換法、反滲透法或其他適宜的方法制得，不含任何添加劑的水。本品為飲用水經(jīng)蒸餾法、離子交換法、反滲 透或其他適宜方法制得性狀本品應(yīng)為澄清、無(wú)色的液體無(wú)色澄明液體、無(wú)臭電導(dǎo)率25℃應(yīng)不大于0.1mS/m符合規(guī)定(定性檢測(cè))微生物總數(shù)不大于50cfu/ml≤100cfu/ml總有機(jī)碳不大于500μg/L 符合規(guī)定(定性檢測(cè)) 易氧化物 取本品100ml加硫酸（10%）10ml。煮沸后，加高錳酸鉀滴定液 （0.02mol/L）0.10mL再煮沸10min，粉紅色不得完全消失。符合規(guī)定(定性檢測(cè))酸堿度（pH）符合規(guī)定(定性檢測(cè))硝酸鹽≤0.06 mg/l亞硝酸鹽≤0.02 mg/l氨≤0.3 mg/l不揮發(fā)物≤10 mg/l重金屬≤0.3 mg/l備注總有機(jī)碳和易氧化物兩項(xiàng)可選做一項(xiàng)相關(guān)下載：YY/T 1244-2014